在半导体光刻领域,二手NIKONNSRS204B分步投影光刻机堪称“经典实力派”!凭借尼康在光学设备制造的深厚积淀,它一直是成熟制程芯片生产线上的“可靠老将”,深受行业专业人士认可!
NIKONNSRS204B搭载汞灯(i-line,波长365nm)光源,配合高精度投影物镜系统,能够实现0.35μm及以上制程的光刻工艺✨。其卓越的分辨率与套刻精度,可将复杂的电路图案精准转移到晶圆表面,套刻误差严格控制在±70nm以内,为芯片的稳定性能筑牢基础。
设备的曝光效率表现亮眼!采用分步重复曝光技术,每小时可处理6英寸晶圆约100片,能有效满足中小批量生产需求。同时,它具备出色的焦深调节能力,即使晶圆表面存在一定起伏,也能确保曝光质量的均匀性和一致性。
操作方面,NIKONNSRS204B配备简洁直观的人机交互界面,工程师可便捷地设置曝光剂量、扫描参数等关键数据,并支持多组工艺配方的快速调用,大幅提升工艺切换效率。设备内置的自动对准系统,可精准定位晶圆,减少人工调试时间,让光刻流程更加顺畅高效。
在适用场景上,这款光刻机适配范围广泛。无论是消费类电子芯片、电源管理芯片,还是传感器芯片的制造,它都能稳定发挥作用。从晶圆光刻的关键环节,到芯片封装的微小结构加工,NIKONNSRS204B都能以可靠的性能,成为半导体企业优化生产、控制成本的优选设备!
NIKONNSRS204B光刻工艺半导体光刻技术





